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• ⚙️ 반도체 장비 PCW (Process Cooling Water) vs Heat Exchanger (냉각기 or 열교환기) 💧 1️⃣ PCW (Process Cooling Water)🔹 정의PCW는 “공정 냉각수”로,전체 장비에서 발생하는 열을 외부로 빼내는 냉각수 공급 시스템입니다.즉, “장비 전체의 열을 외부로 내보내는 역할”.🔹 주요 특징구분내용공급원팹(Fab) 유틸리티 → 장비로 공급온도보통 18~23 °C 정도 (고정 온도)압력수 bar 정도, 일정하게 유지됨용도챔버 벽, 타깃, 파워서플라이, 펌프, RF매치 유닛 등 냉각특징장비 전체를 식히는 공용 냉각라인제어방식온도 제어는 Fab Utility에서 함 (장비 내부 제어 아님)🔹 역할 요약장비에서 발생하는 열을 외부 Utility로 전달주로 Chamber wall, Magnet, Power supply 등 발열 부품 냉각온도 제어 목적이 아니라 열 제거(He.. 2025.10.16
• ⚡ 반도체 스퍼터 공정의 RF Power — Forward / Reflected / Delivered Power의 진짜 의미 🔍🧩 1️⃣ 스퍼터 공정에서 RF Power란?스퍼터(Sputtering)는 **타겟(Target)**에 고에너지 이온을 충돌시켜 원자를 방출하고,그 원자가 기판에 증착되어 박막을 형성하는 진공 플라즈마 박막 증착 공정입니다.이때 RF Power(고주파 전력) 은 플라즈마를 안정적으로 유지시키는 핵심 에너지원 ⚡이에요.RF 전원은 주로 13.56 MHz 또는 40 ~ 60 MHz 주파수로 공급되며,공정의 균일도·증착속도·막질에 직접적인 영향을 줍니다.⚙️ 2️⃣ RF Power의 3가지 주요 개념구분정의의미측정 위치⚡ Forward PowerRF Generator가 매칭 네트워크로 보내는 전력공급되는 ‘총 전력’Gen.. 2025.10.13
• 🎥 맥(Mac) QuickTime Player 최근 항목, 깔끔하게 지우는 법! 🧹 - 메뉴지우기 비활성 시 해결 방법 맥 사용자라면 누구나 한 번쯤 QuickTime Player를 사용해 영상이나 오디오 파일을 열어본 경험이 있을 거예요. 그런데 작업하다 보면 어느새 '최근 항목' 목록이 잔뜩 쌓여서 정신없게 느껴질 때가 있죠? 🤔오늘은 QuickTime Player의 최근 항목을 깔끔하게 지우는 두 가지 방법을 자세히 알려드릴게요! 블로그에 적용했던 아이콘과 간결한 설명으로, 여러분의 맥을 더욱 쾌적하게 만들어 줄 비법을 공개합니다! ✨1️⃣ QuickTime Player 앱 내에서 최근 항목 지우기이 방법은 QuickTime Player 앱 자체에 기록된 '최근 열었던 파일' 목록을 정리할 때 사용해요. QuickTime Player를 자주 쓴다면 이 방법이 가장 유용할 거예요.🚀 따라 하기:QuickTime P.. 2025.05.27
• ⚡ RF 스퍼터 ReflectedPower(W) 발생 시 해결 방법 🔍 1. 현상 요약RF 스퍼터링 공정 중Forward Power = 200 W, Reflected Power = 50 W가 관측되었다면이는 전달 전력의 25%가 챔버에 도달하지 않고 되돌아온 것을 의미합니다.💡 Reflected 50 W = 25% 손실⇒ 실제 플라즈마에 전달되는 전력은 약 150 W 수준입니다.⇒ VSWR ≈ 3.0 (매우 불량한 매칭 상태)이 상태를 그대로 두면…⚠️ 플라즈마 불안정 / 점멸⚠️ 타깃 비균일 스퍼터링⚠️ RF 매칭 네트워크 과열⚠️ 전원 트립 또는 손상⚠️ 파티클 발생 증가🧩 2. 왜 반사파가 생기는가?RF 전원은 “부하(Load)”에 전력을 전달해야 합니다.하지만 **부하 임피던스(Zload)**가 **전원 임피던스(보통 50 Ω)**와 다를 경우,그 차이만큼의.. 2025.10.17
• User Error: ER_NOT_SUPPORTED_AUTH_MODE: Client does not support authentication protocol requested by server; consider upgrading MySQL client 해결 1 MySQL과 Node.js 를 연동하려고 할 때 해당 에러가 발생User Error: ER_NOT_SUPPORTED_AUTH_MODE: Client does not support authentication protocol requested by server; consider upgrading MySQL clientMySQL 8.0에서는 MySQL 패스워드 플러그인 "caching_sha2_password" 때문에 에러발생아래와 같이 mysql.user를 보니plugin이 caching_sha2_password로 되어있다. 그래서 ALTER USER 'root'@'%' IDENTIFIED WITH mysql_native_password BY 'root'를 입력 해 플러그인을 바꿔주면 정상 작동 확인이 가능.. 2024.05.08
• Window(윈도우) 3D Print(그림판) 느려지는 현상 해결 방법 1. 현상윈도우11 그림판을 열면 느르게 열리고 심지어 열린상태에서 작업을 하면 느려지면서 딜레이가 약 30초가량 진해되는 현상이다. 그림판을 잘 안쓰지만 가끔씩 열때마다 짜증이 밀려오면서 해결방법을 알아보았다. ←↑↓ 2. 해결먼저) 시작 → Microsoft Store → 아래쪽 다운르도 → 업데이트 다운로드 시작(전체 업데이트이지만 그림판 3D만 선택해도무방)  → 업데이트 완료업데이트가 완료되면 그림판이 정상적으로 작동하는 것을 볼 수 있다.Microsft에서 기본적으로 제공하는 앱의 업데이트를 하지 않아 발생한 상황이었다.귀찮다면 자동 업데이트를 켜놓는 것도 하나의 방법이다.만약 이렇게 해도 안된다면 관리자 권한으로 실행해보자! 3. 자동업데이트먼저) Microsoft Store → 상단 프로필.. 2024.11.11
• ⚡ 반도체 장비 핵심 부품: ESC (Electrostatic Chuck, 정전척) 📌 1. ESC 개요항목내용정의정전기력(Electrostatic Force)을 이용해 챔버 내에서 웨이퍼를 물리적 손상 없이 강력하게 고정하는 장치도입 배경구형 쿨램프(Mechanical Clamp)의 가장자리 손상(Particle 발생) 및 열전도 불균일 문제를 극복하기 위해 진공 챔버용 표준 기술로 채택적용 공정Dry Etcher(식각), PECVD / ALD(증착), Ion Implanter(이온주입) 등 🎯 2. 핵심 역할과 기능🧲 Wafer Clamping (고정): 챔버 내부의 플라즈마 압력이나 가스 유량에도 웨이퍼가 흔들리지 않도록 수 kV의 DC 전압을 인가하여 고정🌡️ Temperature Control (열 제어): 공정 중 플라즈마에 의해 가열되는 웨이퍼의 열을 ESC 내부의 .. 2026.08.25
• ⚙️ Pre-Clean 챔버 ⚙️ 1️⃣ Pre-Clean 챔버가 존재하는 이유PVD 공정(특히 Sputter)은 웨이퍼 표면에 금속막을 증착하는 과정입니다.그런데 이때, 웨이퍼 표면에 산화막, 수분, 유기오염, native oxide 등이 남아 있으면→ 금속이 그 위에 잘 붙지 않아→ 막 접착력(Peeling, Adhesion failure) 이 떨어지고→ 전기적 접촉저항(Contact resistance)이 증가합니다.그래서 본 공정(Sputtering)에 들어가기 직전,웨이퍼 표면을 아주 살짝 “정제(clean)”해주는 전용 챔버가 필요합니다.그게 바로 Pre-Clean Chamber 입니다.🔹 주요 목적목적설명표면 오염 제거공기 중 노출로 생긴 산화막, 수분, 유기물 제거금속 접착력 향상이후 증착막의 Adhesion 확보전.. 2025.10.16
• 🔧 1️⃣ Cryopump Regen의 기본 개념 Cryopump는 내부의 냉각판(cryopanel)에 기체를 냉각 응축·흡착시켜 진공을 유지하는 펌프입니다.하지만 시간이 지나면 냉각판에 흡착된 기체(특히 H₂, He, N₂ 등)가 포화되어 더 이상 펌핑이 안 되므로,이를 가열하여 방출(=Regen) 하는 절차가 필요합니다.🧊 2️⃣ Cryovalve 닫고 Regen하는 이유Regen 중에는 Cryopump 내부의 기체가 방출되므로,이게 진공 챔버로 새어나가면 안 됩니다.그래서 Cryovalve(크라이오밸브) 를 닫고 펌프를 챔버로부터 격리한 뒤 리젠을 수행합니다. 💨 Regen 시 실제 흐름Cryovalve가 닫히면 Cryopump는 챔버와 분리됩니다.그 상태에서 Cryopump 내부의 냉각판을 가열하면,흡착되어 있던 기체들이 방출됩니다.이.. 2025.10.15