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- ⚡ RF 스퍼터 ReflectedPower(W) 발생 시 해결 방법 🔍 1. 현상 요약RF 스퍼터링 공정 중Forward Power = 200 W, Reflected Power = 50 W가 관측되었다면이는 전달 전력의 25%가 챔버에 도달하지 않고 되돌아온 것을 의미합니다.💡 Reflected 50 W = 25% 손실⇒ 실제 플라즈마에 전달되는 전력은 약 150 W 수준입니다.⇒ VSWR ≈ 3.0 (매우 불량한 매칭 상태)이 상태를 그대로 두면…⚠️ 플라즈마 불안정 / 점멸⚠️ 타깃 비균일 스퍼터링⚠️ RF 매칭 네트워크 과열⚠️ 전원 트립 또는 손상⚠️ 파티클 발생 증가🧩 2. 왜 반사파가 생기는가?RF 전원은 “부하(Load)”에 전력을 전달해야 합니다.하지만 **부하 임피던스(Zload)**가 **전원 임피던스(보통 50 Ω)**와 다를 경우,그 차이만큼의.. 2025.10.17
- ⚙️ 반도체 장비 PCW (Process Cooling Water) vs Heat Exchanger (냉각기 or 열교환기) 💧 1️⃣ PCW (Process Cooling Water)🔹 정의PCW는 “공정 냉각수”로,전체 장비에서 발생하는 열을 외부로 빼내는 냉각수 공급 시스템입니다.즉, “장비 전체의 열을 외부로 내보내는 역할”.🔹 주요 특징구분내용공급원팹(Fab) 유틸리티 → 장비로 공급온도보통 18~23 °C 정도 (고정 온도)압력수 bar 정도, 일정하게 유지됨용도챔버 벽, 타깃, 파워서플라이, 펌프, RF매치 유닛 등 냉각특징장비 전체를 식히는 공용 냉각라인제어방식온도 제어는 Fab Utility에서 함 (장비 내부 제어 아님)🔹 역할 요약장비에서 발생하는 열을 외부 Utility로 전달주로 Chamber wall, Magnet, Power supply 등 발열 부품 냉각온도 제어 목적이 아니라 열 제거(He.. 2025.10.16
- ⚡ 반도체 스퍼터 공정의 RF Power — Forward / Reflected / Delivered Power의 진짜 의미 🔍🧩 1️⃣ 스퍼터 공정에서 RF Power란?스퍼터(Sputtering)는 **타겟(Target)**에 고에너지 이온을 충돌시켜 원자를 방출하고,그 원자가 기판에 증착되어 박막을 형성하는 진공 플라즈마 박막 증착 공정입니다.이때 RF Power(고주파 전력) 은 플라즈마를 안정적으로 유지시키는 핵심 에너지원 ⚡이에요.RF 전원은 주로 13.56 MHz 또는 40 ~ 60 MHz 주파수로 공급되며,공정의 균일도·증착속도·막질에 직접적인 영향을 줍니다.⚙️ 2️⃣ RF Power의 3가지 주요 개념구분정의의미측정 위치⚡ Forward PowerRF Generator가 매칭 네트워크로 보내는 전력공급되는 ‘총 전력’Gen.. 2025.10.13
- 🗓️ 티스토리 사이드바에 HTML 코드로 달력 위젯 만들기 (맞춤 설정!) 🗓️ 티스토리 기본 모듈에 달력이 없어 아쉬우셨나요? 걱정 마세요! HTML 코드를 활용하면 더욱 자유롭게 디자인하고 맞춤 설정이 가능한 달력 위젯을 사이드바에 추가할 수 있습니다. 마치 전문가처럼, HTML과 약간의 CSS 실력으로 블로그에 딱 맞는 달력을 만들어 보세요! ✨🎯 왜 HTML 달력 위젯을 사용해야 할까요? (자유도 UP!)디자인 자유도: 기본 위젯보다 훨씬 다양한 디자인과 스타일을 적용할 수 있습니다.맞춤 기능 추가: 필요에 따라 특정 이벤트 표시, 강조 기능 등 맞춤 기능을 추가할 수 있습니다.기본 모듈 없을 때 유용: 기본 제공 달력이 없는 스킨에서도 문제없이 달력을 추가할 수 있습니다.🛠️ HTML 달력 위젯 추가 방법 (단계별 상세 안내!)1️⃣ 달력 HTML/CSS 코드 준비 📝.. 2025.06.15
- 🎥 맥(Mac) QuickTime Player 최근 항목, 깔끔하게 지우는 법! 🧹 - 메뉴지우기 비활성 시 해결 방법 맥 사용자라면 누구나 한 번쯤 QuickTime Player를 사용해 영상이나 오디오 파일을 열어본 경험이 있을 거예요. 그런데 작업하다 보면 어느새 '최근 항목' 목록이 잔뜩 쌓여서 정신없게 느껴질 때가 있죠? 🤔오늘은 QuickTime Player의 최근 항목을 깔끔하게 지우는 두 가지 방법을 자세히 알려드릴게요! 블로그에 적용했던 아이콘과 간결한 설명으로, 여러분의 맥을 더욱 쾌적하게 만들어 줄 비법을 공개합니다! ✨1️⃣ QuickTime Player 앱 내에서 최근 항목 지우기이 방법은 QuickTime Player 앱 자체에 기록된 '최근 열었던 파일' 목록을 정리할 때 사용해요. QuickTime Player를 자주 쓴다면 이 방법이 가장 유용할 거예요.🚀 따라 하기:QuickTime P.. 2025.05.27
- .bat file과 .exe file 예시 및 차이, 장점과 단점 1. BAT 파일 (Batch 파일)BAT 파일은 "배치 파일"의 약자로, 주로 명령어 인터프리터인 DOS나 Windows의 커맨드 프롬프트(cmd.exe)에서 실행할 수 있는 스크립트 파일이다. 확장자는 .bat 또는 .cmd로 사용됩니다. BAT 파일은 순차적으로 명령어들을 작성하여 하나의 자동화된 작업을 수행하는데 유용하다.BAT 파일 코드 예시(backup.bat)@echo off xcopy "C:\Users\사용자명\Documents" "D:\Backup" /s /e /h /y echo 백업 완료! pause "C:\Users\사용자명\Documents" 폴더의 모든 파일과 하위 폴더를 "D:\Backup" 폴더로 복사**(/s: 하위 폴더 포함, /e: 비어 있는 폴더 포함, /h: 숨김 파일.. 2024.11.13
- Window(윈도우) 3D Print(그림판) 느려지는 현상 해결 방법 1. 현상윈도우11 그림판을 열면 느르게 열리고 심지어 열린상태에서 작업을 하면 느려지면서 딜레이가 약 30초가량 진해되는 현상이다. 그림판을 잘 안쓰지만 가끔씩 열때마다 짜증이 밀려오면서 해결방법을 알아보았다. ←↑↓ 2. 해결먼저) 시작 → Microsoft Store → 아래쪽 다운르도 → 업데이트 다운로드 시작(전체 업데이트이지만 그림판 3D만 선택해도무방) → 업데이트 완료업데이트가 완료되면 그림판이 정상적으로 작동하는 것을 볼 수 있다.Microsft에서 기본적으로 제공하는 앱의 업데이트를 하지 않아 발생한 상황이었다.귀찮다면 자동 업데이트를 켜놓는 것도 하나의 방법이다.만약 이렇게 해도 안된다면 관리자 권한으로 실행해보자! 3. 자동업데이트먼저) Microsoft Store → 상단 프로필.. 2024.11.11
- Unity Playfab Displayname Setting 1. Playfab Studio Setting https://developer.playfab.com/en-us/my-games Log In · PlayFab developer.playfab.com 해당 스튜디오에 접속하게 되면 아래와 같이 가입된 Player들이 설정되는데 눌러주면 위와 같이 Displayname을 적고 세이브를 눌러주면 된다. 2. 코드에서 작성하기 위의 예시와 같이 회원가입을 할때 DisplayName에 설정하고 싶은 name을 적으면 된다. 2024.04.01
- 맥북 색상 구분하기 - 스그, 실버(색상 확인법) 맥북 색상구분 M1max 14인치를 중고로 구매해서 사용하고 있는데 실버인지 스페이스그레이인지 구분이 안되었다. 코드로 알 수 있는것도 아니고 모델로도 알 수 없었다... 내가 색을 구분을 못하는 건가... 그래서 찾아보니 박스의 맥북 화면으로 구분할 수 있다. (박스가 없으면 ....애플스토어에 찾아가야하나...) 우선 M1max 제품의 박스로 구분하자면 으로 구분할 수 있다... 색상이 다르다 그래서 나의 M1max 제품은 실버였다... 순간 스페이스 그레이인가? 생각하다가 급하게 찾게되었는데 모델번호로 식별이 안되는 것일까? 결론 : 박스의 맥북 화면의 색상으로 구분 2024.02.11
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